[发明专利]石墨烯生产方法和连续式生产装置

摘要

本发明提出了一种在真空反应腔体内设置加热器件，对石墨烯生长基底采用局部加热的方法取代传统化学气相沉积法对整个反应腔体进行加热的方法，并设计了以此方法为基础的石墨烯连续式生产装置，将传动系统、基底退火系统、石墨烯化学气相沉积系统、石墨烯快速降温过程集成于同一真空腔体内，从而完成石墨烯薄膜的连续化生产。本发明解决了石墨烯薄膜生产过程中能耗高、难以量产的问题，适合规模化生产石墨烯薄膜。

主权项

石墨烯生产方法和连续式生产装置，其特征在于：将加热器件设置于真空腔体内，采用局部加热的方式对生长基底加热退火并为化学气相沉积石墨烯薄膜提供反应所需的高温环境；将基底退火系统、化学气相沉积系统、石墨烯快速降温系统依次集成于同一真空腔体中。