[发明专利]一种MOCVD新系统

摘要

本发明公开了一种MOCVD新系统，该系统包括电控箱、混气箱、反应腔、传送箱、尾气处理系统，所述的反应腔包括了沟槽互通式转动载盘、与载盘匹配的带支架基座、旋转喷淋头、排气口等，从结构上对传统MOCVD进行了改进，使其不但节约了磊晶所用的原料，更改善了MOCVD磊晶的均匀性，提高了磊晶质量，并且解决了传统MOCVD制备芯片尺寸及产率低的局限性。

主权项

一种MOCVD系统，包括电控箱、混气箱、反应腔、传送箱、尾气处理系统，其特征在于反应腔内用于放置磊晶衬底的载盘为沟槽互通式转动载盘，包括了图形化部分（1），磊晶衬底盛放处（2），互通式沟槽（3），磊晶衬底盛放处（2）为凹形凹槽，互通式沟槽（3）排列于磊晶衬底盛放处（2）周围。