[发明专利]清洗液流量控制系统及控制方法有效
申请号: | 201210290586.0 | 申请日: | 2012-08-15 |
公开(公告)号: | CN103592979B | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 王坚;赵宇;谢良智;张晓燕;贾社娜;王晖 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | G05D27/02 | 分类号: | G05D27/02;H01L21/67 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明揭示了一种清洗液流量控制系统,包括:清洗液流经的控制阀;压力传感器,测量流经控制阀的清洗液的压力并输出压力值;控制器,接收压力传感器输出的压力值并将该压力值与目标压力值比较,根据比较结果产生并发送电流信号,若压力值大于目标压力值,发送较小的电流信号,若该压力值小于目标压力值,发送较大的电流信号;I/P转换器,接收控制器输出的电流信号并向控制阀输送具有相应压力的压缩空气,接收到较小的电流信号时,I/P转换器降低输送给控制阀压缩空气的压力,接收到较大的电流信号时,I/P转换器增大输送给控制阀压缩空气的压力;测量清洗液的流速的流量开关;及调节清洗液的流速的针阀。本发明还公开了清洗液流量控制方法。 | ||
搜索关键词: | 清洗 流量 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】:
1.一种清洗液流量控制系统,包括:一个控制阀,清洗液流经所述控制阀;一个压力传感器,测量流经所述控制阀的清洗液的压力并输出压力值;一个控制器,接收所述压力传感器输出的压力值并将该压力值与目标压力值比较,根据比较结果产生并发送电流信号,若该压力值大于目标压力值,所述控制器发送一较小的电流信号,若该压力值小于目标压力值,所述控制器发送一较大的电流信号;一个I/P转换器,接收所述控制器输出的电流信号并向所述控制阀输送具有相应压力的压缩空气,所述I/P转换器接收所述控制器输出的较小的电流信号时,所述I/P转换器降低输送给所述控制阀压缩空气的压力,所述I/P转换器接收所述控制器输出的较大的电流信号时,所述I/P转换器增大输送给所述控制阀压缩空气的压力;流经所述控制阀及所述压力传感器的清洗液分成若干分支,每一分支具有一个流量开关、一个针阀及一个清洗腔;所述流量开关测量流入清洗腔的清洗液的流速;所述针阀调节流入清洗腔的清洗液的流速到目标流速;所述控制阀、压力传感器、I/P转换器及控制器构成PID闭环控制系统。
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