[发明专利]清洗液流量控制系统及控制方法有效

专利信息
申请号: 201210290586.0 申请日: 2012-08-15
公开(公告)号: CN103592979B 公开(公告)日: 2018-09-04
发明(设计)人: 王坚;赵宇;谢良智;张晓燕;贾社娜;王晖 申请(专利权)人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
主分类号: G05D27/02 分类号: G05D27/02;H01L21/67
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陆嘉
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 清洗 流量 控制系统 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种清洗液流量控制系统,包括:

一个控制阀,清洗液流经所述控制阀;

一个压力传感器,测量流经所述控制阀的清洗液的压力并输出压力值;

一个控制器,接收所述压力传感器输出的压力值并将该压力值与目标压力值比较,根据比较结果产生并发送电流信号,若该压力值大于目标压力值,所述控制器发送一较小的电流信号,若该压力值小于目标压力值,所述控制器发送一较大的电流信号;

一个I/P转换器,接收所述控制器输出的电流信号并向所述控制阀输送具有相应压力的压缩空气,所述I/P转换器接收所述控制器输出的较小的电流信号时,所述I/P转换器降低输送给所述控制阀压缩空气的压力,所述I/P转换器接收所述控制器输出的较大的电流信号时,所述I/P转换器增大输送给所述控制阀压缩空气的压力;

流经所述控制阀及所述压力传感器的清洗液分成若干分支,每一分支具有一个流量开关、一个针阀及一个清洗腔;

所述流量开关测量流入清洗腔的清洗液的流速;

所述针阀调节流入清洗腔的清洗液的流速到目标流速;

所述控制阀、压力传感器、I/P转换器及控制器构成PID闭环控制系统。

2.根据权利要求1所述的清洗液流量控制系统,其特征在于:若所述压力传感器测得的流经所述控制阀的清洗液的压力等于目标压力值,则将每一分支中当前的清洗液的流速与一目标流速进行比较,如果当前的清洗液的流速与目标流速相等,那么对清洗液压力和流速的调节完成。

3.根据权利要求1所述的清洗液流量控制系统,其特征在于:若所述压力传感器测得的流经所述控制阀的清洗液的压力等于目标压力值,则将每一分支中当前的清洗液的流速与一目标流速进行比较,如果当前的清洗液的流速大于目标流速,将相应分支中的针阀调小,从而调小相应分支中清洗液的流速,与此同时,所述控制阀中清洗液的压力增大,从而导致所述压力传感器测得的压力值大于目标压力值,所述控制器发送一较小的电流信号给所述I/P转换器,所述I/P转换器接收所述控制器输出的较小的电流信号后降低输送给所述控制阀压缩空气的压力。

4.根据权利要求1所述的清洗液流量控制系统,其特征在于:若所述压力传感器测得的流经所述控制阀的清洗液的压力等于目标压力值,则将每一分支中当前的清洗液的流速与一目标流速进行比较,如果当前的清洗液的流速小于目标流速,将相应分支中的针阀调大,从而调大相应分支中清洗液的流速,与此同时,所述控制阀中清洗液的压力降低,从而导致所述压力传感器测得的压力值小于目标压力值,所述控制器发送一较大的电流信号给所述I/P转换器,所述I/P转换器接收所述控制器输出的较大的电流信号后增大输送给所述控制阀压缩空气的压力。

5.根据权利要求1所述的清洗液流量控制系统,其特征在于:所述每一分支还进一步包括压力阀,用于允许或阻止清洗液流入所述清洗腔。

6.一种清洗液流量控制系统,包括:

一个控制阀,清洗液流经所述控制阀;

一个压力传感器,测量流经所述控制阀的清洗液的压力并输出压力值;

一个控制器,接收所述压力传感器输出的压力值并将该压力值与目标压力值比较,根据比较结果产生并发送电压信号,若该压力值大于目标压力值,所述控制器发送一较小的电压信号,若该压力值小于目标压力值,所述控制器发送一较大的电压信号;

一个U/P转换器,接收所述控制器输出的电压信号并向所述控制阀输送具有相应压力的压缩空气,所述U/P转换器接收所述控制器输出的较小的电压信号时,所述U/P转换器降低输送给所述控制阀压缩空气的压力,所述U/P转换器接收所述控制器输出的较大的电压信号时,所述U/P转换器增大输送给所述控制阀压缩空气的压力;

流经所述控制阀及所述压力传感器的清洗液分成若干分支,每一分支具有一个流量开关、一个针阀及一个清洗腔;

所述流量开关测量流入清洗腔的清洗液的流速;

所述针阀调节流入清洗腔的清洗液的流速到目标流速;

所述控制阀、压力传感器、U/P转换器及控制器构成PID闭环控制系统。

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