[发明专利]有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置有效
申请号: | 201210284906.1 | 申请日: | 2012-08-10 |
公开(公告)号: | CN102766844A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 吴泰必;王宜凡 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,包括:一掩模板框架、及数张安装在该掩模板框架上的分掩模板;所述分掩模板之间设有间隙,每两个相邻的分掩模板之间的间隙相同,所述掩模板框架呈矩形,其中间设有矩形的容置口,所述分掩模板的张数根据该掩模板框架的容置口的宽度及所述分掩模板的宽度而定,全部分掩模板的宽度加上其之间的间隙宽度的数值大于或等于容置口的宽度。所述有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置通过数张分掩模板拼接于掩模板框架上,实现了有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模的大尺寸化,同时有利于大尺寸有机电致发光二极管的有机材料的蒸镀。 | ||
搜索关键词: | 有机 电致发光 二极管 材料 蒸镀用掩模 装置 | ||
【主权项】:
一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,包括:一掩模板框架、及数张安装在该掩模板框架上的分掩模板;所述分掩模板之间设有间隙,每两个相邻的分掩模板之间的间隙相同,所述掩模板框架呈矩形,其中间设有矩形的容置口,所述分掩模板沿容置口的宽度方向进行排列安装,其张数根据该掩模板框架的容置口的宽度及所述分掩模板的宽度而定,全部分掩模板的宽度加上其之间的间隙宽度的数值大于或等于容置口的宽度。
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