[发明专利]有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置

说明书

技术领域

本发明涉及有机电致发光二极管(OLED)，尤其涉及一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置。

背景技术

有机发光二极管或有机发光显示器(Organic Light Emitting Diode Display，OLED)又称为有机电致发光二极管，是自20世纪中期发展起来的一种新型显示技术。与液晶显示器相比，有机电致发光二极管具有全固态、主动发光、高亮度、高对比度、超薄、低成本、低功耗、快速响应、宽视角、工作温度范围宽、易于柔性显示等诸多优点。有机电致发光二极管的结构一般包括：基板、阳极、阴极和有机功能层，其发光原理是通过阳极和阴极间蒸镀的非常薄的多层有机材料，由正负载流子注入有机半导体薄膜后复合产生发光。有机电致发光二极管的有机功能层，一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层(Hole Transport Layer，HTL)、发光功能层(Emissive Layer，EML)、电子传输功能层(Electron Transport Layer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层，电子传输功能层。

目前，全彩有机电致发光二极管的制作方法以红绿蓝(RGB)三色并列独立发光法、白光加彩色滤光片法、色转换法三种方式为主，其中红绿蓝三色并列独立发光法最有潜力，实际应用最多。

但在以红绿蓝三色并列独立发光法制作有机电致发光二极管的制作过程中，需要使用金属掩模板来达到对玻璃基板上发光层的发光像素部分区域蒸镀有机材料以实现彩色显示。随着有机电致发光二极管的发展，尤其是主动矩阵式有机发光二极管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)的发展，有机电致发光二极管产品尺寸及玻璃基板尺寸都在不断增加，这就要求蒸镀金属掩模板的尺寸不断增大，金属掩模板一般都很薄(一般不超过50um)，而且有机电致发光二极管蒸镀工艺要求金属掩模板和玻璃基板之间要有很高的对位精度(金属掩模板单元器件与玻璃基板的像素单元之间对位误差在-3um～+3um)。随着有机电致发光二极管大尺寸化的生产，往往会产生由于金属掩模板与玻璃基板之间对位不准导致有机材料蒸镀到其他区域，造成产品不良，极大影响了生产效率和生产成本。因此，金属掩模板的大尺寸化及其大尺寸化后与玻璃基板之间的精确对位等技术问题，限制了有机电致发光二极管大尺寸化的发展。

发明内容

本发明的目的在于提供一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置，其通过数张分掩模板拼接于掩模板框架上，实现了有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模的大尺寸化，同时有利于大尺寸有机电致发光二极管的有机材料的蒸镀。

为实现上述目的，本发明提供一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置，包括：一掩模板框架、及数张安装在该掩模板框架上的分掩模板；所述分掩模板之间设有间隙，每两个相邻的分掩模板之间的间隙相同，所述掩模板框架呈矩形，其中间设有矩形的容置口，所述分掩模板沿容置口的宽度方向进行排列安装，其张数根据该掩模板框架的容置口的宽度及所述分掩模板的宽度而定，全部分掩模板的宽度加上其之间的间隙宽度的数值大于或等于容置口的宽度。

所述掩模板框架的容置口大小根据待蒸镀的有机电致发光二极管发光层的大小而定。

所述分掩模板具有相同的结构及大小，每一分掩模板均包括开口有效区及设于该开口有效区两端的两无效区。

所述分掩模板开口有效区的开口与有机电致发光二极管发光层的像素单元的子像素点对应设置；所述分掩模板无效区的自由端分别连接在所述掩模板框架上，进而安装该分掩模板于掩模板框架上。

所述分掩模板开口有效区的开口为插槽型开口。

所述相邻的两分掩模板之间的间隙的宽度大于或等于有机电致发光二极管发光层的像素单元的子像素点的宽度。

所述像素单元的子像素点为红、绿、蓝三色子像素点中的任一颜色的子像素点。

所述分掩模板开口有效区的开口为缝隙型开口。

所述掩模装置还包括数张设置于相邻两分掩模板之间的间隙上的掩盖板，该掩盖板的宽度大于相邻两分掩模板之间的间隙的宽度，且小于相邻两开口有效区之间的距离。

所述掩盖板安装在所述掩模板框架上。