[发明专利]有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置有效
申请号: | 201210284906.1 | 申请日: | 2012-08-10 |
公开(公告)号: | CN102766844A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 吴泰必;王宜凡 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 电致发光 二极管 材料 蒸镀用掩模 装置 | ||
1.一种有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,包括:一掩模板框架、及数张安装在该掩模板框架上的分掩模板;所述分掩模板之间设有间隙,每两个相邻的分掩模板之间的间隙相同,所述掩模板框架呈矩形,其中间设有矩形的容置口,所述分掩模板沿容置口的宽度方向进行排列安装,其张数根据该掩模板框架的容置口的宽度及所述分掩模板的宽度而定,全部分掩模板的宽度加上其之间的间隙宽度的数值大于或等于容置口的宽度。
2.如权利要求1所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述掩模板框架的容置口大小根据待蒸镀的有机电致发光二极管发光层的大小而定。
3.如权利要求1所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述分掩模板具有相同的结构及大小,每一分掩模板均包括开口有效区及设于该开口有效区两端的两无效区。
4.如权利要求3所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述分掩模板开口有效区的开口与有机电致发光二极管发光层的像素单元的子像素点对应设置;所述分掩模板无效区的自由端分别连接在所述掩模板框架上,进而安装该分掩模板于掩模板框架上。
5.如权利要求3所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述分掩模板开口有效区的开口为插槽型开口。
6.如权利要求4所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述相邻的两分掩模板之间的间隙的宽度大于或等于有机电致发光二极管发光层的像素单元的子像素点的宽度。
7.如权利要求7所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述像素单元的子像素点为红、绿、蓝三色子像素点中的任一颜色的子像素点。
8.如权利要求3所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述分掩模板开口有效区的开口为缝隙型开口。
9.如权利要求8所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,还包括数张设置于相邻两分掩模板之间的间隙上的掩盖板,该掩盖板的宽度大于相邻两分掩模板之间的间隙的宽度,且小于相邻两开口有效区之间的距离。
10.如权利要求9所述的有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置,其特征在于,所述掩盖板安装在所述掩模板框架上。
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