[发明专利]运动传感器的结构和方法有效
| 申请号： | 201210281583.0 | 申请日： | 2012-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN102951595A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 徐家保;戴文川;洪嘉明;陈相甫 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00;G01D5/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开内容提供了运动传感器结构的一个实施例。运动传感器结构包括：第一衬底，具有形成在其上的集成电路；第二衬底，通过第一表面与第一衬底接合，其中，第二衬底包括形成在其上的运动传感器；以及第三衬底，与第二衬底的第二表面接合，其中，第三衬底包括与运动传感器对准的凹进区域。本发明还提供了运动传感器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 传感器 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种运动传感器结构，包括：第一衬底，具有形成在其上的集成电路；第二衬底，在第一表面处与所述第一衬底接合，其中，所述第二衬底包括形成在其上的运动传感器；以及第三衬底，与所述第二衬底的第二表面接合，其中，所述第三衬底包括与运动传感器对准的凹进区域。
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