[发明专利]排气系统及其方法无效
| 申请号： | 201210277403.1 | 申请日： | 2012-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN102909205A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 迪尔克·巴赖斯;弗洛里安·卡尔滕巴赫;安德烈·林德特;帕斯奎尔·罗恰;霍尔格·施普伦格 | 申请（专利权）人： | 睿纳有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B15/00 | 分类号： | B08B15/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 寇英杰;王婧 |
| 地址： | 德国居*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改善在衬底的化学连续式处理过程中去除含有反应气体的空气的设备及方法。该设备通过传送气体从用于扁平物体的单侧湿法化学处理的连续式设备中去除气态反应产物，其包括入口、用于收容处理液的处理池、具有传送面的用于沿传送方向水平传送扁平物体的连续式传送器件、出口以及布置在传送面上方的用于气态反应产物的集气室。其特征在于：为形成排气通道，集气室在出口的区域设置入口开口以及在入口的区域设置出口开口，以该方式使得传送气体能够沿与传送方向相反的方向且基本平行于传送面和传送方向流动穿过排气通道。本发明方法的特征在于：排气通道中的传送气体被导向与传送方向相反的方向并且基本平行于传送面以及传送方向。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种设备，其通过传送气体（G）从用于扁平物体（3）的单侧湿法化学处理的连续式设备（1）中去除气态反应产物（2），所述设备包括入口（8）、用于收容处理液（F）的处理池（4）、具有传送面（6）的用于沿传送方向（7）水平传送扁平物体（3）的连续式传送器件（5）、出口（9）以及布置在所述传送面（6）上方的用于气态反应产物（2）的集气室（10），其特征在于：为形成排气通道（13），所述集气室（10）在所述出口（9）的区域设置入口开口（11）以及在所述入口（8）的区域设置出口开口（12），以这样的方式使得所述传送气体（G）能够沿与所述传送方向（7）相反的方向并且基本平行于所述传送面（6）和所述传送方向（7）流过所述排气通道（13）。
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