[发明专利]基于柔性衬底的传感器膜材料的制备方法无效
| 申请号： | 201210266330.6 | 申请日： | 2012-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN102798648A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;詹爽;刘明;谢常青;梁圣法;陈鑫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器敏感膜材料的制备方法，该方法包括：清洗柔性衬底，在柔性衬底上涂敷光刻胶，然后光刻显影，刻蚀掉部分光刻胶形成电极图形；在形成有电极图形的柔性衬底上依次形成Cr层和Au层，并剥离形成Cr/Au电极；然后采用浸涂或丝网印刷等方法在已形成Cr/Au电极的衬底上淀积一层掺杂碳纳米管的聚间氨基苯酚薄膜。本发明提供的这种基于柔性衬底的敏感膜材料，碳纳米管的掺杂完全取代了传统的在聚间氨基苯酚中掺入的浓强酸的作用，除此之外，碳纳米管的掺杂还提高了聚间氨基苯酚材料在常温下对醇类及氨气检测的灵敏度，同时还实现了在柔性衬底上的可操作性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 衬底 传感器 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，该方法包括：清洗柔性衬底，在柔性衬底上涂敷光刻胶，然后光刻显影，刻蚀掉部分光刻胶形成电极图形；在形成有电极图形的柔性衬底上依次形成Cr层和Au层，并剥离形成Cr/Au电极；以及采用浸涂或丝网印刷的方法在已形成Cr/Au电极的衬底上淀积一层掺杂碳纳米管的聚间氨基苯酚薄膜。
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