[发明专利]基于柔性衬底的传感器膜材料的制备方法

权利要求书

1.一种基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，该方法包括：

清洗柔性衬底，在柔性衬底上涂敷光刻胶，然后光刻显影，刻蚀掉部分光刻胶形成电极图形；

在形成有电极图形的柔性衬底上依次形成Cr层和Au层，并剥离形成Cr/Au电极；以及采用浸涂或丝网印刷的方法在已形成Cr/Au电极的衬底上淀积一层掺杂碳纳米管的聚间氨基苯酚薄膜。

2.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，所述柔性衬底是PI或PET。

3.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，所述的在形成有电极图形的柔性衬底上依次形成Cr层和Au层，是采用电子束蒸发或其它镀膜技术在形成有电极图形的柔性衬底上依次形成Cr层和Au层。

4.根据权利要求3所述的基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，所述剥离形成Cr/Au电极，是剥离已光刻显影后的柔性衬底上的光刻胶及该光刻胶上的Cr和Au，剥离后剩余的Cr和Au形成Cr/Au电极。

5.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，所述掺杂的碳纳米管是经氧化处理后的碳纳米管。

6.根据权利要求5所述的基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，所述经氧化处理过的碳纳米管，其功能在于：

一方面使碳纳米管能与聚间氨基苯酚同时溶于二甲亚砜或其他可溶的有机溶剂中，实现碳纳米管在聚间氨基苯酚中的均匀分散；

另一方面，氧化处理后的碳纳米管侧壁连有-COOH基团，该-COOH基团能与聚间氨基苯酚中的亚氨基反应生成盐，从而破坏聚间氨基苯酚分子中亚氨基和邻位酚羟基形成的氢键，把酚羟基独立出来，为醇类及氨气的检测保留反应位点。

7.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，所述聚间氨基苯酚薄膜是掺杂碳纳米管的聚间氨基苯酚形成的敏感膜，用于在常温下对气体的检测，其中碳纳米管的掺杂一方面增强聚间氨基苯酚材料的导电性和对气体检测的可行性，另一方面提高敏感膜在常温下对醇类及氨气的检测灵敏度。

8.根据权利要求6或7所述的基于柔性衬底的在常温下检测气体的传感器膜材料的制备方法，其特征在于，所述醇类至少包括甲醇、乙醇或异丙醇。