[发明专利]一种硅片甩干系统有效
| 申请号： | 201210260896.8 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN103575075A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 熊文娟;王大海;蒋浩杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | F26B11/04 | 分类号： | F26B11/04;F26B25/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种硅片甩干系统，所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架，其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片，所述甩干桶内设置有硅片固定装置，所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住，防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。相对于现有技术中固定部件至少有两点与硅片接触的甩干系统，本发明实施例的甩干系统大大减少了在甩干过程中硅片的玷污面积，进而提高了硅片的清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片甩干系统，所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架，其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片，其特征在于，所述甩干桶内设置有硅片固定装置，所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住，防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210260896.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型鞋底与鞋面的焊接熔化粘合加工工艺
- 下一篇：中药鞋垫
