[发明专利]带有ZnO微米和纳米复合结构的LED管芯及其制备方法有效
| 申请号： | 201210258879.0 | 申请日： | 2012-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN102751418A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 吴拥中;尹正茂;郝霄鹏;刘晓燕;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L33/00;B82Y20/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 宁钦亮 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有ZnO微米和纳米复合结构的LED管芯及其制备方法，该LED管芯是在LED管芯的发光面上生长有ZnO微米图形阵列，在ZnO微米图形阵列上垂直生长有纳米棒，其制备包括以下步骤：（1）生长LED外延片，制作完整结构的LED管芯；（2）在LED发光面溅射一层ZnO种子层；（3）在LED表面制作光刻胶微米周期图形；（4）以光刻胶微米周期图形为模板生长ZnO微米图形阵列；（5）用去胶液去除光刻胶，得到ZnO微米图形阵列，（6）在ZnO微米图形阵列上溅射一层ZnO种子层；（7）在ZnO微米图形阵列上生长ZnO纳米棒阵列。本发明不仅可以更高比例的提取发射光，也保证了发光二极管整个发光表面出光的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 zno 微米 纳米 复合 结构 led 管芯 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种带有ZnO微米和纳米复合结构的LED管芯，其特征是：在LED管芯的发光面上生长有ZnO微米图形阵列，在ZnO微米图形阵列上垂直生长有纳米棒。
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