[发明专利]空心硼硅玻璃微珠掺杂的纳米绒面太阳能电池制造方法

摘要

本发明公开了一种空心硼硅玻璃微珠掺杂的纳米绒面太阳能电池制造方法，包括如下工艺步骤：晶体硅衬底单面湿法催化腐蚀形成纳米绒面(直径小于1微米)、空心磷硅玻璃微珠在水中的浮起、背靠背衬底样品花篮中的放置、样品花篮的提拉完成玻磷硅空心玻璃微珠的密排附着、高温退火实现选区梯度掺杂、腐蚀清洗、淀积氮化硅减反射、丝印栅线和铝背场，最后退火合金完成空心硼硅玻璃微珠掺杂的纳米绒面太阳能电池的制造。本发明提供的制造方法，以低成本制造为策略，尽可能地利用现有的工艺，而不增加设备成本。相比传统的太阳能电池，本方法制得的太阳能电池提高了效率。此外，本方法制备工艺简单，具有较好的工艺稳定性。

主权项

空心硼硅玻璃微珠掺杂的纳米绒面太阳能电池制造方法，其特征在于：其包括如下工艺步骤：1)、用化学催化腐蚀的方法在晶体硅衬底正面制备纳米绒面结构；2)、纳米绒面衬底背靠背放入样品花篮，浸入空心硼硅玻璃微珠密布表面的丙酮液体中；3)、提拉法缓慢提升样品花篮，空心硼硅玻璃微珠密排附着至纳米绒面表面；4)、氮气气氛下退火扩散形成选区pn结，酸洗清除硼硅玻璃；5)、氮化硅减反及表面钝化膜沉积Si3N4减反膜，用丝网印刷机在背面和正面丝印银栅线，背面丝印铝背场，从而形成正负电极；6)、合金退火，制备出空心硼硅玻璃微珠掺杂的纳米绒面太阳能电池。