[发明专利]一种高度测量装置及其测量方法

摘要

一种高度测量装置及其测量方法，光源产生线偏振光，经过偏振分光器分为第一偏振光和第二偏振光；第二偏振光倾斜入射到被测物体表面形成偏振反射光，第一偏振光、偏振反射光分别通过第一、二四分之一波片入射到第一、二反射镜并沿原路返回，经过偏振分光器分别形成第一偏振出射光、第二偏振出射光；偏振反射光先后通过第一分束器和第二分束器分别形成第一光斑和第二光斑，根据第一光斑和第二光斑的位置信息计算被测物体表面的倾斜量；光束接收器接收第一偏振出射光和第二偏振出射光，获得被测物体运动产生的光程差；根据光程差计算出被测物体高度。本发明测量精度高，对硅片工艺衬底适应性强可用于表面形貌高低起伏变化的表面高度测量。

主权项

一种高度测量装置，包括：产生线偏振光的光源，包含频率不同的第一偏振光和第二偏振光，所述第一偏振光和所述第二偏振光的偏振方向互相垂直；偏振分光器，所述线偏振光经过所述偏振分光器后分为所述第一偏振光和所述第二偏振光；其特征在于，还包括：第一四分之一波片和第一反射镜，所述第一偏振光通过所述第一四分之一波片入射到所述第一反射镜并沿原路返回，再次通过所述第一四分之一波片后返回所述偏振分光器；第一分束器、第二分束器、位置探测器，所述第二偏振光倾斜入射到被测物体表面后，通过所述第一分束器和所述第二分束器分别形成第一光斑和第二光斑，所述位置探测器用于探测所述第一光斑和所述第二光斑的位置信息；第二四分之一波片和第二反射镜，所述第二偏振光通过所述第二分束器后，通过所述第二四分之一波片垂直入射到所述第二反射镜并沿原路返回，再次通过所述第二四分之一波片、第二分束器、第一分束器和被测物体表面后，返回所述偏振分光器；光束接收器，所述第一偏振光和所述第二偏振光在所述偏振分光器合束后被所述光束接收器接收。