[发明专利]一种缺陷检测方法无效
| 申请号： | 201210204445.2 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102735688A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;龙吟;陈宏璘;郭明升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种缺陷检测方法。本发明提出一种缺陷检测方法，通过对检测晶圆设置多个检测区域，再根据工艺需求设置每个检测区域的缺陷阀值，最后根据设定的检测区域及对应的缺陷阀值对晶圆进行缺陷检测，从而有效避免晶圆上线路尺寸或薄膜厚度均匀性差的区域的背景信号干扰其他好的检测区域，进而实现高精度和灵活的缺陷检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：在一待检测晶圆上根据工艺需求设置多个缺陷检测区域；步骤S2：根据不同的缺陷检测区域的工艺需求设置每个缺陷检测区域相应的缺陷阀值；步骤S3：根据设定的缺陷阀值对相应的检测区域进行检测。
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