[发明专利]一种暖机方法及刻蚀方法无效
| 申请号： | 201210204132.7 | 申请日： | 2012-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN103515176A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 谢秋实 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种暖机方法及刻蚀方法，该暖机方法用于在暖机工艺时在腔室内壁形成聚合物以使腔室内达到工艺所需的工作状态，包括以下步骤，将含有碳和氢的气体通入所述腔室内，将上述含有碳和氢的气体激发成等离子体，借助所述含有碳和氢的等离子体在所述腔室内壁沉积一聚合物层。该暖机方法不仅可以缩短暖机工艺的时间，提高暖机工艺的效率；而且可以降低暖机工艺的成本，进而可以降低整个刻蚀工艺的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方法 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种暖机方法，用于在暖机工艺时在腔室内壁形成聚合物以使腔室内达到工艺所需的工作状态，其特征在于包括以下步骤，将含有碳和氢的气体通入所述腔室内，将上述含有碳和氢的气体激发成等离子体，借助所述含有碳和氢的等离子体在所述腔室内壁沉积一聚合物层。
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