[发明专利]利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备

摘要

本发明的目的是提供一种利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备。根据本发明的光阑，包括光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜。本发明的优点在于：能够使得电子束以最优剖面轮廓通过光阑板，从而能够获得质量较好的图像；对光阑进行切换时，只需通过调整加在多极透镜上的电压，即可调整电子束的大小，因此光阑的切换更加快速且方便，在实践中仅需零点几秒即可完成光阑的切换，极大地提高了光阑的切换效率；并且，根据本发明的光阑比通常采用的使用步进式马达调整的光阑结构更加简单，且造价更便宜。

主权项

一种光阑，其包括：‑光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；‑多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜；其中，所述第一组多个入射多极透镜分别具有适合电场和/或磁场，用于将穿过其中的入射粒子束流调整至与初始光轴平行且相距预定距离的位置，以使所述入射例子束流通过所述光阑板上的特定小孔；所述第二组多个出射多极透镜分别具有与所述第一组入射多极透镜相对应的适合电场和/或磁场，以使得穿过所述光阑板上的特定小孔的出射粒子束流回归到所述初始光轴的位置。