[发明专利]利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备

权利要求书

1.一种光阑，其包括：

-光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；

-多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的第二组多个出射多极透镜；

其中，所述第一组多个入射多极透镜分别具有适合电场和/或磁场，用于将穿过其中的入射粒子束流调整至与初始光轴平行且相距预定距离的位置，以使所述入射例子束流通过所述光阑板上的特定小孔；

所述第二组多个出射多极透镜分别具有与所述第一组入射多极透镜相对应的适合电场和/或磁场，以使得穿过所述光阑板上的特定小孔的出射粒子束流回归到所述初始光轴的位置。

2.根据权利要求1所述的光阑，其中，所述粒子束流包括电子束，所述多极透镜具有适合电场。

3.根据权利要求2所述的光阑，其中，所述多极透镜包括八极透镜。

4.根据权利要求3所述的光阑，其中，所述第一组入射八极透镜包括两个入射八极透镜，所述第二组出射八极透镜包括两个出射八极透镜。

5.根据权利要求4所述的光阑，其中，

所述第二个入射八极透镜的电场与第一个入射八极透镜的电场方向相反；

所述第二个出射八极透镜的电场与第一个出射八极透镜的电场方向相反。

6.一种扫描电镜，其包括如权利要求1至5中任一项所述的光阑。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜，还包括：

偏转控制装置，用于根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述偏转控制装置包括：

第一确定装置，用于根据所需粒子束流的大小来查询预设偏转数值表，以确定与所需粒子束流的大小相对应的所述多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数；

第一调整装置，用于根据所述相关调整参数来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述偏转控制装置包括：

第二确定装置，用于根据所需粒子束流的大小来确定初始粒子束流所需穿过的所述光阑板上的小孔；

第二调整装置，用于根据所确定的小孔相应地调整多个多极透镜的电场和/或磁场的电压，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的扫描电镜，所述扫描电镜包括以下任一种：

-常规扫描电镜；

-环境扫描电镜；

-场发射扫描电镜；

-扫描透射电镜。

11.一种用于调节扫描电镜的方法，其中，所述扫描电镜包括如权利要求1至5中任一项所述的光阑，其中，所述方法包括以下步骤：

A根据所需粒子束流的大小来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。

12.根据权利要求11所述的方法，所述步骤A包括以下步骤：

-根据所需粒子束流的大小来查询预设偏转数值表，以确定与所需粒子束流的大小相对应的所述多极透镜电场和/或磁场的相关调整参数；

-根据所述相关调整参数来控制所述光阑中多个多极透镜的电场和/或磁场，以使初始粒子束流穿过所述光阑板上与所需粒子束流大小相对应的小孔。

13.根据权利要求11所述的方法，所述步骤A包括以下步骤：

-根据所需粒子束流的大小来确定初始粒子束流所需穿过的所述光阑板上的小孔；

-根据所确定的小孔相应地调整多个多极透镜的电场和/或磁场的电压，以使所述初始粒子束流与初始光轴平行地穿过该所确定的小孔。

14.根据权利要求11至13中任一项所述的方法，其中，所述扫描电镜包括以下任一种：

-常规扫描电镜；

-环境扫描电镜；

-场发射扫描电镜；

-扫描透射电镜。