[发明专利]利用结构化的玻璃涂层制作衍射光学元件无效
| 申请号： | 201210171310.0 | 申请日： | 2005-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102707351A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 迪特里希·蒙德;克劳斯·迈克尔·海莫尔 | 申请（专利权）人： | 肖特股份公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B3/08;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及光学元件，尤其涉及一种施加光活性结构化到基片上的方法，以及利用这种类型方法制作的组件。尤其是，施加光活性结构化到基片上的方法包括：光刻技术和借助于物理汽相沉积过程的材料沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 结构 玻璃 涂层 制作 衍射 光学 元件 | ||
【主权项】：
一种用于施加光活性结构化到基片上的方法，包括利用光刻掩模的结构化，其特征在于多次重复以下步骤：利用光敏抗蚀层涂敷基片，光刻结构化施加的层，借助于物理汽相沉积，利用光活性层涂敷预结构化的基片，该光活性层包含选自由玻璃和金属构成的组中的至少一种材料，和去掉抗蚀层。
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