[发明专利]用于补偿正交误差的方法和系统有效
| 申请号： | 201210168238.6 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN102889895B | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 卢卡·科洛纳多;加布里埃莱·卡萨尼卡;卡洛·卡米纳达;曼努埃尔·桑托罗;卢西亚诺·普兰迪;戴米德·康迪利斯 | 申请（专利权）人： | 马克西姆综合产品公司 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 陈松涛,王英 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子机械系统传感器和补偿微电子机械系统传感器中的正交误差的方法，其中该传感器用于检测基板运动，特别是检测基板的加速度和/或转动速率。至少一个放置于基板上的物体借助传动电极来驱动，并且物体相对于基板运动地安置。由于存在正交误差，所述至少一个物体执行的运动与预定运动间存在偏差。由于存在科里奥利力和正交误差，所述至少一个物体会发生偏移，该偏移可利用检测电极来检测。根据本发明，可以借助补偿电极检测电容变化，该变化取决于所述至少一个物体的传动运动。在补偿电极上会产生补偿电荷，其取决于所述传感器的正交误差。为了达到补偿效果，补偿电荷会与通过正交误差在检测电极上产生的虚假及错误的电荷相互抵消。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 补偿 正交 误差 方法 系统 | ||
【主权项】：
补偿微电子机械系统(MEMS)传感器中的正交误差的方法，其中该微电子机械系统(MEMS)传感器用于检测一个基板(Sub)的运动，其中至少一个放置于所述基板(Sub)上的物体(Rot)借助一个传动电极(D)进行驱动，并且该物体(Rot)相对于所述基板运动地安置，由于正交误差的存在，所述物体或所述多个物体(Rot)执行的运动与所预定的运动之间存在一定的偏差，由于科里奥利力以及正交误差的存在，所述物体或所述多个物体(Rot)会发生偏移，该偏移可以利用一个检测电极(S)来进行检测，其特征在于，包括以下步骤：借助一个补偿电极(D；DS；S2a,S2b)检测电容的变化，该电容的变化取决于所述物体或所述多个物体(Rot)的传动运动,在所述补偿电极(D；DS；S2a,S2b)上，会产生一个补偿电荷，该补偿电荷取决于所述微电子机械系统(MEMS)传感器的正交误差，和所述物体或所述多个物体(Rot)的运动受到正交误差的影响，会产生偏差，当所述补偿电荷与通过正交误差在检测电极(S)上产生的电荷相互抵消，该运动就不会改变。
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