[发明专利]一种集成光子芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 201210167844.6 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN102659070A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;张坤;胡庆杰;李磊;韩枫;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种集成光子芯片及其制备方法。首先制备基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器，并把以上器件制作成为单独的‘子芯片’。在此基础上，把这些单独的‘子芯片’通过混合集成的方法集成到同一‘母芯片’上，形成集成光子芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 光子 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种集成光子芯片，其特征在于：包括基于纳米线阵列的可调谐激光器(1)、集成波导型光隔离器(2)、基于表面等离子体的光耦合器(3)和光探测器(4)；以上四个器件集成在同一光学芯片(5)上。
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