[发明专利]低压超大电流整流管制造方法

摘要

本发明涉及一种低压超大电流整流管制造方法，属于半导体器件制造技术领域，本发明通过采用NN+外延片作为加工材料进行P型扩散，由于NN+外延片作为加工材料形成PN结平缓，高阻层可精确控制，体电阻小，压降低，承受浪涌冲击电流大，从而提高解决薄片加工易碎片的难题，提高产品的等级合格率，同时还可提高产品的可靠性；基区设计时将相关数据填入对应的公式，使所取得的耐压与压降找到最佳平衡点，将此过程编成程序通过电脑可以迅速找到最佳点，提高了单位面积电流密度，本发明可使18000A/200～400V的整流管峰值通态压降在12000A条件下可小于1.08V，反向阻断电压在200～400V，本发明电流密度更大、电流容量更强、可靠性更高，性能优越、使用成本更低，填补国际空白。

主权项

一种低压超大电流整流管制造方法，包括扩散、减薄、割圆、烧结、蒸发、台面造型、台面钝化、测试、冷压焊封装、测试工序，其特征是，采用NN+外延片作为加工材料进行P型扩散；基区经微机编程方法设计使耐压与压降取得最佳折中，提高单位面积电流密度。