[发明专利]玻璃基掩埋光波导的制作方法有效
| 申请号： | 201210137604.1 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102645700A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;王毅强;商惠琴;王明华;杨建义 | 申请（专利权）人： | 上海光芯集成光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134;C03C21/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200072 上海市闸*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种玻璃基掩埋光波导的制作方法，该方法是以多组分熔盐为电极，将表面掺杂离子形成了表面掺杂区的玻璃基片置于多组分熔盐中，通过电场辅助使表面掺杂的离子进入玻璃基片内部并形成内部掺杂区，在玻璃基片上制作掩埋光波导，所述的多组分熔盐由KNO3(0～20wt％)、NaNO3(20～95wt％)、Mg(NO3)2(0～50wt％)、Ca(NO3)2(5～50wt％)，以及对应于玻璃基片材料中玻璃形成体氧化物的粉末(0～0.5wt％)混合而成。与现有技术相比，本发明具有熔融温度底、对玻璃基片腐蚀作用小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 掩埋 波导 制作方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃基掩埋光波导的制作方法，该方法是以多组分熔盐为电极，将表面掺杂离子形成了表面掺杂区的玻璃基片置于多组分熔盐中，通过电场辅助使表面掺杂的离子进入玻璃基片内部并形成内部掺杂区，在玻璃基片上制作掩埋光波导，其特征在于，所述的多组分熔盐由KNO3(0～20wt％)、NaNO3(20～95wt％)、Mg(NO3)2(0～50wt％)、Ca(NO3)2(5～50wt％)，以及对应于玻璃基片材料中玻璃形成体氧化物的粉末(0～0.5wt％)混合而成。
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