[发明专利]脊型Y分支光波导结构的制作方法无效
| 申请号： | 201210131596.X | 申请日： | 2012-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN103383478A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 黄新舜 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/138 | 分类号： | G02B6/138 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脊型Y分支光波导结构的制作方法，其包括：提供一基板，该基板包括呈T形的脊部及与该脊部连接的平坦部，该平坦部包括承载平面；在该基板上形成覆盖该脊部及该承载平面的导光层；在该导光层表面上形成光阻层；对该光阻层曝光及显影以在该导光层上形成Y形蚀刻阻挡层，该Y形蚀刻阻挡层包括阻挡层分叉结构，该阻挡层分叉结构的正投影位于该承载平面上；蚀刻该导光层以形成与该Y形蚀刻阻挡层相对应的Y分支光波导，该Y分支光波导包括位于该承载平面上的光波导分叉结构；最后将该Y分支光波导形成于该基板内。 | ||
| 搜索关键词： | 脊型 分支 波导 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
一种脊型Y分支光波导结构的制作方法，其包括：提供一基板，该基板包括呈T形的脊部及与该脊部连接的平坦部，该平坦部包括承载平面；在该基板上形成覆盖该脊部及该承载平面的导光层；在该导光层表面上形成光阻层；对该光阻层曝光及显影以在该导光层上形成Y形蚀刻阻挡层，该Y形蚀刻阻挡层包括阻挡层分叉结构，该阻挡层分叉结构的正投影位于该承载平面上；蚀刻该导光层以形成与该Y形蚀刻阻挡层相对应的Y分支光波导Y分支光波导，该Y分支光波导包括位于该承载平面上的光波导分叉结构；及将该Y分支光波导形成于该基板内。
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