[发明专利]脊型Y分支光波导结构的制作方法

权利要求书

1.一种脊型Y分支光波导结构的制作方法，其包括：

提供一基板，该基板包括呈T形的脊部及与该脊部连接的平坦部，该平坦部包括承载平面；

在该基板上形成覆盖该脊部及该承载平面的导光层；

在该导光层表面上形成光阻层；

对该光阻层曝光及显影以在该导光层上形成Y形蚀刻阻挡层，该Y形蚀刻阻挡层包括阻挡层分叉结构，该阻挡层分叉结构的正投影位于该承载平面上；

蚀刻该导光层以形成与该Y形蚀刻阻挡层相对应的Y分支光波导Y分支光波导，该Y分支光波导包括位于该承载平面上的光波导分叉结构；及

将该Y分支光波导形成于该基板内。

2.如权利要求1所述的脊型Y分支光波导结构的制作方法，其特征在于：在该基板的表面形成该导光层的方法为电子束蒸发镀膜法或射频溅射镀膜法。

3.如权利要求1所述的脊型Y分支光波导结构的制作方法，其特征在于：该基板为铌酸锂或铌酸钡基板。

4.如权利要求1所述的脊型Y分支光波导结构的制作方法，其特征在于：该导光层的厚度介于0.6～0.8um。

5.如权利要求1所述的脊型Y分支光波导结构的制作方法，其特征在于：该导光层的材料为钛、镍、锌、镓或者锌镍合金。

6.如权利要求1所述的脊型Y分支光波导结构的制作方法，其中：提供该基板的步骤包括：

在平板状底板上形成蚀刻遮罩，该平板状底板包括第一平板部及与该第一平板部连接的第二平板部，该蚀刻遮罩包括条形部及与该条形部连接的第三平板部，该条形部覆盖部分该第一平板部，该第三平板部完全覆盖该第二平板部；及

蚀刻该平板状底板以使该第一平板部形成T形的该脊部及该第二平板部形成该平坦部从而得到该基板。

7.如权利要求1所述的脊型Y分支光波导结构的制作方法，其特征在于：蚀刻该平板状底板所用的蚀刻液由HF及HNO₃组成。

8.如权利要求1所述的脊型Y分支光波导结构的制作方法，其特征在于：该蚀刻遮罩的材料为铬或者二氧化硅。