[发明专利]脊型Y分支光波导结构的制作方法无效
| 申请号： | 201210131596.X | 申请日： | 2012-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN103383478A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 黄新舜 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/138 | 分类号： | G02B6/138 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脊型 分支 波导 结构 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及光波导的制作方法，尤其是涉及一种脊型Y分支光波导结构的制作方法。
背景技术
在光通信网路中，Y分支光波导结构（1×2 balanced－ridge type）被用以将一路光信号分为二路光信号或将二路光信号合并为一路光信号。将多个这样的Y分支光波导结构组合，可制作1×4、…1×N结构的分支光波导结构。
目前，制作该Y分支型光波导结构的一般方法为：先利用湿式蚀刻法制作一Y形基板，然后在该Y形基板上形成Y分支光波导，将再该Y分支光波导扩散至该Y形基板内。但是，在湿式蚀刻法制作该Y形基板时，蚀刻液会在Y形光阻层的分叉锐角区域(锐角小于1度)因受表面张力之影响下无法进入该分叉锐角区域，以致产生蚀刻不完整的Y形基板的分叉侧壁，最终导致当该Y分支型光波导结构应用在通讯传播上，容易产生极大的非预期传播损耗。
发明内容
鉴于上述状况，有必要提供一种新的脊型Y分支光波导结构的制作方法。
一种脊型Y分支光波导的制备方法，其包括：提供一脊型基板，在基板的整面镀上导光层材质，然后再在导光层材质表面均匀涂布一层光阻；采用光罩定义出Y分支光波导的图案，对该光阻层蚀刻；
高温扩散，导光层材质会扩散进入Y分支光波导内部。
本发明不在Y分支锐角区域制作脊型结构，即维持锐角区域的平面结构，减少了锐角区域的信号损耗，制作出来的光波导结构平整。该光波导应用在光通讯网络，散射损失低，具有较好的导光特性。
附图说明
图1-7是本发明实施例的一种脊型Y分支光波导结构的制程示意图。
主要元件符号说明
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