[发明专利]从金刚石线锯切割硅片废料浆中回收多晶硅的方法

摘要

本发明涉及一种回收金刚石线锯切割硅片废料浆中多晶硅的方法。主要包括以下步骤：将废料浆进行固液分离；在固体物中加入混合酸，反应10～12小时后脱酸，清洗至中性；以纯水造浆后用旋流器分离出大部分金刚石，压滤后得到含量为99%的硅料，再将其分散在重液中，离心分离后用纯水反复清洗；将清洗后的料浆通过大孔离子交换树脂装置去除离子，干燥得到99.99%的硅粉；硅粉压制成块后在多晶硅铸锭炉中铸锭，切除杂质，得到纯度为99.9999%的硅锭。本发明不同于传统多晶硅制备及回收技术，工艺简单、成本低廉，易于工业化生产。

主权项

一种从金刚石线锯切割硅片废料浆中回收多晶硅的方法，包括以下步骤：（1）向待处理的金刚石线锯切割硅片废料浆中加入纯水调节料浆质量百分比浓度为10%～20%，然后置离心分离装置中进行离心分离，去除分离液，压滤得到硅含量≥90%的固体物料；（2）按照固体物料：混合酸=1：1～2的质量比向置于反应釜中的上述固体物料加入无机混合酸，调节搅拌转速为50～90r/min，反应温度控制为50～70℃，反应10～12小时后脱酸，以纯水清洗至中性后压滤，得滤饼；（3）取上步所得滤饼加纯水造浆，调节其料浆质量百分比浓度为2～5%，再以旋流分级装置分离出金刚石，压滤后得到硅含量≥99%的硅料；（4）将上述硅料均匀分散于比重为2.4～3.5g/cm3的重液中后，再以离心机对其进行离心分离，取上层硅料用纯水反复清洗去除重液后，压滤得滤饼；（5）对上步所得滤饼以纯水造浆，调节其料浆质量百分比浓度至1～3%后，通入大孔离子交换树脂装置去除离子，压滤后真空干燥得纯度≥99.99%的硅粉；（6）以等静压机将上步所得硅粉压制成块，然后在多晶硅铸锭炉中铸锭，并切除杂质，得到纯度≥99.9999%的硅锭。