[发明专利]用于供应材料的设备

摘要

本发明揭示一种用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应到面向衬底的喷射孔，所述设备包括：源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在源容器中；蒸发室，蒸发室包括用于将源容器安装在其中的内部空间，且来自源容器的经蒸发源材料通过蒸发室；第一加热器，第一加热器提供在位于蒸发室内的源容器上方，且第一加热器将热供应到源容器，以蒸发容纳在源容器中的源材料；以及传递单元，传递单元使第一加热器和源容器中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。

主权项

一种用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应给面向所述衬底的喷射孔，所述设备包含：源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在所述源容器中；蒸发室，所述蒸发室包含用于将所述源容器安装在其中的内部空间，且来自所述源容器的所述经蒸发源材料通过所述蒸发室；第一加热器，所述第一加热器提供在位于所述蒸发室内的所述源容器上方，且所述第一加热器将热供应到所述源容器，以蒸发容纳在所述源容器中的所述源材料；以及传递单元，所述传递单元使所述第一加热器和所述源容器中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。