[发明专利]用于供应材料的设备

说明书

相关申请案的交叉参考

本申请主张在2011年4月13日向韩国知识产权局申请的第10-2011-0034341号韩国专利申请案的优先权和权益，所述申请的全部内容以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及一种用于供应材料的设备，更特定来说，涉及一种可蒸发和供应将要以薄膜形式沉积在衬底上的有机物质的用于供应材料的设备。

背景技术

有机发光装置为下一代显示装置，下一代显示装置可在自身内发射光，与液晶显示器(LCD)装置的视角、对比度、响应速度、功率消耗等相比，下一代显示装置的视角、对比度、响应速度、功率消耗等都非常好。

有机发光装置包括有机发光二极管，有机发光二极管以矩阵类型连接在扫描线和数据线之间并形成像素。有机发光二极管包括阳极、阴极和形成在阳极和阴极之间并具有空穴传输层、有机发光层和电子传输层的有机薄膜层。当预定电压施加在阳极和阴极之间时，从阳极注入的空穴和从阴极注入的电子在发光层中重新组合，同时基于能差发射光。

用在用于有机薄膜层的沉积工序中的有机物质不需要高蒸汽压力，而是有机物质在高温下容易分解和变性为无机物质。由于这些材料特性，因此由钨材料制成的源容器填有有机物质，且源容器被加热以蒸发有机物质，从而将常规的有机薄膜沉积在衬底上。

有机发光二极管的常规制造已在与外界条件隔绝的真空条件下执行，且因而，当再次填充用于制造有机发光二极管的源材料时，必须不可避免地使设备暂停。另外，如果使用大容量源容器增加了填充量而延长了暂停周期，那么，源材料可能变质和变性，并且每次更换源容器时还需要维护设备。

此外，在常规设备中，蒸发量依据源材料的消耗而改变，且因此，归因于沉积在衬底上的膜的厚度的改变，所制造的装置并不可靠。

发明内容

因此，构想出本发明来解决前述问题，且本发明的一方面是提供用于供应材料的设备，在所述设备中，源材料和用于将热供应给源材料以蒸发源材料的加热器提供在一个空间内，且根据源材料的蒸发量来调节源材料和加热器之间的距离，从而维持沉积在衬底上的有机发光二极管的恒定厚度并制造可靠的有机发光二极管。

根据本发明的示范性实施例，提供用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应到面向衬底的喷射孔，所述设备包括：源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在源容器中；蒸发室，蒸发室包括用于将源容器安装在其中的内部空间，且来自源容器的经蒸发源材料通过蒸发室；第一加热器，第一加热器提供在位于蒸发室内的源容器上方，且第一加热器将热供应到源容器，以蒸发容纳在源容器中的源材料；以及传递单元，传递单元使第一加热器和源容器中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。

设备可进一步包括挡板，挡板提供在位于蒸发室内的第一加热器上方，且挡板拦截从所述蒸发室的外侧传递到内侧的热。

设备可进一步包括：冷却器，冷却器安装在蒸发室的下部中，以便邻近于液体或固体源材料，且冷却器冷却容纳在源容器中的源材料；以及第二加热器，第二加热器安装在蒸发室的上部中并与液体或固体源材料隔开，且第二加热器将热供应到蒸发室，以便防止通过蒸发室的经蒸发源材料相变为液态或固态。

传递单元可包括：杆单元，杆单元穿透蒸发室的顶部，杆单元耦合到第一加热器，且杆单元和第一加热器一起在蒸发室内上下往复运动；驱动源，驱动源供应用于使杆单元往复运动的驱动力；以及控制器，控制器连接到驱动源且控制杆单元的传递方向和速度。

传递单元可包括：杆单元，杆单元穿透蒸发室的底部，杆单元耦合到源容器，且杆单元和源容器一起在蒸发室内上下往复运动；驱动源，驱动源供应用于使杆单元往复运动的驱动力；以及控制器，控制器连接到驱动源且控制杆单元的传递方向和速度。

根据本发明的示范性实施例，提供用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应到面向衬底的喷射孔，所述设备包括：源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在源容器的下部中，且经蒸发源材料在源容器的上部通过源容器；第一加热器，第一加热器安装在位于源容器内的固体或液体源材料上方，且第一加热器将热供应到固体或液体源材料，以蒸发源材料；以及传递单元，传递单元使第一加热器和源材料中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。

设备可进一步包含挡板，挡板提供在位于源容器内的第一加热器上方，且挡板拦截从所述源容器的外侧传递到内侧的热。