[发明专利]用于供应材料的设备

权利要求书

1.一种用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应给面向所述衬底的喷射孔，所述设备包含：

源容器，将要沉积在衬底上的源材料以固态或液态容纳在所述源容器中；

蒸发室，所述蒸发室包含用于将所述源容器安装在其中的内部空间，且来自所述源容器的所述经蒸发源材料通过所述蒸发室；

第一加热器，所述第一加热器提供在位于所述蒸发室内的所述源容器上方，且所述第一加热器将热供应到所述源容器，以蒸发容纳在所述源容器中的所述源材料；以及

传递单元，所述传递单元使所述第一加热器和所述源容器中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备进一步包含挡板，所述挡板提供在位于所述蒸发室内的所述第一加热器上方，且所述挡板拦截从所述蒸发室的外侧传递到内侧的热。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备进一步包含：

冷却器，所述冷却器安装在所述蒸发室的下部中，以便邻近于液体或固体源材料，且所述冷却器冷却容纳在所述源容器中的源材料；以及

第二加热器，所述第二加热器安装在所述蒸发室的上部中并与所述液体或固体源材料隔开，且所述第二加热器将热供应到所述蒸发室，以便防止通过所述蒸发室的所述经蒸发源材料相变为液态或固态。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述传递单元包含：

杆单元，所述杆单元穿透所述蒸发室的顶部，所述杆单元耦合到所述第一加热器，且所述杆单元和所述第一加热器一起在所述蒸发室内上下往复运动；

驱动源，所述驱动源供应用于使所述杆单元往复运动的驱动力；以及

控制器，所述控制器连接到所述驱动源且控制所述杆单元的传递方向和速度。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述传递单元包含：

杆单元，所述杆单元穿透所述蒸发室的底部，所述杆单元耦合到所述源容器，且所述杆单元和所述源容器一起在所述蒸发室内上下往复运动；

驱动源，所述驱动源供应用于使所述杆单元往复运动的驱动力；以及

控制器，所述控制器连接到所述驱动源且控制所述杆单元的传递方向和速度。

6.一种用于供应材料的设备，所述设备蒸发将要作为薄膜沉积在衬底上的源材料，且所述设备将经蒸发源材料供应给面向所述衬底的喷射孔，所述设备包含：

源容器，将要沉积在衬底上的所述源材料以固态或液态容纳在所述源容器的下部中，且所述经蒸发源材料在所述源容器的上部中通过所述源容器；

第一加热器，所述第一加热器安装在位于所述源容器内的所述固体或液体源材料上方，且所述第一加热器将热供应到所述固体或液体源材料，以蒸发所述源材料；以及

转移单元，所述转移单元使所述第一加热器和所述源材料中的一者在与另一者接近或与另一者远离的方向上往复运动。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备进一步包含挡板，所述挡板提供在位于所述源容器内的所述第一加热器上方，且所述挡板拦截从所述源容器的外侧传递到内侧的热。

8.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备进一步包含：

冷却器，所述冷却器安装在所述源容器的下部中，以便邻近于液体或固体源材料，且所述冷却器冷却容纳在所述源容器中的源材料；以及

第二加热器，所述第二加热器安装在所述源容器的上部中并与所述液体或固体源材料隔开，且所述第二加热器将热供应到所述源容器，以便防止通过所述源容器的所述经蒸发源材料相变为液态或固态。

9.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述传递单元包含：

杆单元，所述杆单元穿透所述源容器的顶部，所述杆单元耦合到所述第一加热器，且所述杆单元和所述第一加热器一起在所述源容器内上下往复运动；

驱动源，所述驱动源供应用于使所述杆单元往复运动的驱动力；以及

控制器，所述控制器连接到所述驱动源且控制所述杆单元的传递方向和速度。

10.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述传递单元包含：

杆单元，所述杆单元穿透所述源容器的底部，所述杆单元接触所述源材料，且所述杆单元和所述源材料一起在所述源容器内上下往复运动；

驱动源，所述驱动源供应用于使所述杆单元往复运动的驱动力；以及

控制器，所述控制器连接到所述驱动源且控制所述杆单元的传递方向和速度。