[发明专利]石墨烯电子器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201210101951.9 | 申请日： | 2012-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN102738237A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 许镇盛;郑现钟;徐顺爱;李晟熏;梁喜准 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/10;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供石墨烯电子器件及其制造方法。该石墨烯电子器件可包括：栅极氧化物，在导电衬底上，该导电衬底配置为用作栅极电极；一对第一金属，在该栅极氧化物上，该对第一金属彼此分隔开；石墨烯沟道层，在该第一金属之间且在该第一金属上延伸；以及源极电极和漏极电极，在石墨烯沟道层的两边缘上。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 电子器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯电子器件，包括：栅极氧化物，在导电衬底上，该导电衬底配置为用作栅极电极；一对第一金属，在所述栅极氧化物上，该对第一金属彼此分隔开；石墨烯沟道层，在该对第一金属之间且在该对第一金属上延伸；以及源极电极和漏极电极，在所述石墨烯沟道层的两边缘上。
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