[发明专利]多晶硅制造用石墨夹头再利用方法无效
| 申请号： | 201210088804.2 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103303925A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 金钟济 | 申请（专利权）人： | 阿波罗科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;庞东成 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅制造用石墨夹头再利用方法，该方法通过有效分离被蒸镀在多晶硅制造工序中所用到的石墨夹头表面上的多晶硅，从而不仅对被蒸镀的多晶硅进行再利用而且对石墨夹头也进行再利用，根据本发明的多晶硅制造用石墨夹头的再利用方法包括：1)从硅锭分离在石墨夹头表面上附着有多晶硅的石墨夹头-多晶硅末端的步骤；以及2)将上述石墨夹头-多晶硅末端投入到分离液中进行反应的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 石墨 夹头 再利用 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅制造用石墨夹头再利用方法，其特征在于，该方法包括：1)从硅锭分离在石墨夹头表面上附着有多晶硅的石墨夹头‑多晶硅末端的步骤；以及2)将上述石墨夹头‑多晶硅末端投入到分离液中进行反应的步骤。
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