[发明专利]涂敷膜形成装置和涂敷膜形成方法

摘要

本发明提供涂敷膜形成装置和涂敷膜形成方法。通过使用两个喷嘴提高基板的涂敷处理的生产节拍时间并抑制成本。涂敷膜形成装置包括：喷嘴保持部件(12)，其保持沿基板输送方向前后配置的第1喷嘴(16)和第2喷嘴(17)；喷嘴移动部件(11)，其使喷嘴保持部件沿基板输送方向移动；控制部件(40)，其进行第1喷嘴及上述第2喷嘴的驱动控制、上述喷嘴移动部件的驱动控制，上述控制部件控制上述喷嘴移动部件以便将上述第1喷嘴和上述第2喷嘴配置在基板输送路径上的同一个涂敷位置，并进行控制以便利用该喷嘴移动部件使上述喷嘴保持部件移动，利用配置在上述同一个涂敷位置的上述第1喷嘴和第2喷嘴中的任一个喷嘴向上述基板喷出处理液。

主权项

一种涂敷膜形成装置，其包括具有在基板的宽度方向上较长的狭缝状的喷出口的第1喷嘴和第2喷嘴，从上述第1喷嘴和第2喷嘴中的任意一个喷嘴的喷出口向在上述喷嘴的下方沿着基板输送路径输送的上述基板喷出处理液，在上述基板上形成规定的涂敷膜，其特征在于，该涂敷膜形成装置包括：喷嘴保持部件，其用于对沿着基板输送方向前后配置的上述第1喷嘴和第2喷嘴进行保持；喷嘴移动部件，其用于使上述喷嘴保持部件沿着基板输送方向移动；控制部件，其用于进行上述第1喷嘴及上述第2喷嘴的驱动控制、上述喷嘴移动部件的驱动控制，上述控制部件控制上述喷嘴移动部件，以便将上述第1喷嘴和上述第2喷嘴配置在基板输送路径上的同一个涂敷位置，上述控制部件进行控制，以便利用上述喷嘴移动部件使上述喷嘴保持部件移动，并利用配置在上述同一个涂敷位置的上述第1喷嘴和第2喷嘴中的任意一个喷嘴向上述基板喷出处理液。