[发明专利]液浮陀螺仪用薄膜温度传感器的制备方法

摘要

本发明提供的是一种液浮陀螺仪用薄膜温度传感器的制备方法。加工铝合金圆环；机械抛光、除油、碱洗、酸洗、去离子水清洗后干燥；采用微弧氧化的方法在KOH和Na2SiO3混合电解液中进行微弧氧化处理，得到Al基Al2O3试件；机械抛光，在酒精中超声清洗；采用物理沉积方法制备Cu膜，得到Al基Al2O3/Cu膜试件；在真空环境热处理；进行刻蚀，得到指定阻值，宽度为20-100μm、边缘平整铜线条；采用厚膜焊接技术焊接引线；采用硅橡胶进行封装，形成Al-Al2O3-Cu-Al2O3-Al薄膜温度传感器。本发明通过高绝缘致密介质隔离层制备技术、等离子体闭合场温敏Cu膜可控生长技术，电阻条刻蚀技术等关键步骤，具备耐氟溴油浸泡、小型化、一体化、响应时间短、结构坚实的特点的液浮陀螺仪用薄膜温度传感器。本发明方法所形成的铝基薄膜温度传感器制备技术可应用于其他温敏元器件的制造。

主权项

一种液浮陀螺仪用薄膜温度传感器的制备方法，其特征是：以铝合金为原料，加工成铝合金圆环；对铝合金圆环经机械抛光、除油、碱洗、酸洗、去离子水清洗后干燥；对铝合金圆环采用微弧氧化的方法在KOH和Na2SiO3混合电解液中进行微弧氧化处理，处理过程电解液温度维持在40℃以下，反应时间为10‑30min，得到Al基Al2O3试件；对微弧氧化制得Al基Al2O3膜试件机械抛光，在酒精中超声清洗；在Al基Al2O3膜上采用物理沉积方法制备Cu膜，其中高纯Cu靶纯度大于99.9％，本底真空小于1.6×10‑4Pa，溅射时间大于900s，得到Al基Al2O3/Cu膜试件；Al基Al2O3/Cu膜试件在真空环境热处理，热处理温度200‑500℃，保温1‑6h，随炉冷却；热处理后Al基Al2O3/Cu膜试件进行刻蚀，得到指定阻值，宽度为20‑100μm、边缘平整铜线条；刻蚀后线条采用厚膜焊接技术焊接引线；焊接引线试件与Al基Al2O3试件采用硅橡胶进行封装，形成Al‑Al2O3‑Cu‑Al2O3‑Al薄膜温度传感器。