[发明专利]液浮陀螺仪用薄膜温度传感器的制备方法有效
| 申请号： | 201210073517.4 | 申请日： | 2012-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN102607732A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 乔英杰;崔新芳;张晓红 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | G01K7/22 | 分类号： | G01K7/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 陀螺仪 薄膜 温度传感器 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种液浮陀螺仪用薄膜温度传感器的制备方法，其特征是：
以铝合金为原料，加工成铝合金圆环；
对铝合金圆环经机械抛光、除油、碱洗、酸洗、去离子水清洗后干燥；
对铝合金圆环采用微弧氧化的方法在KOH和Na2SiO3混合电解液中进行微弧氧化处理，处理过程电解液温度维持在40℃以下，反应时间为10-30min，得到Al基Al2O3试件；
对微弧氧化制得Al基Al2O3膜试件机械抛光，在酒精中超声清洗；
在Al基Al2O3膜上采用物理沉积方法制备Cu膜，其中高纯Cu靶纯度大于99.9％，本底真空小于1.6×10-4Pa，溅射时间大于900s，得到Al基Al2O3/Cu膜试件；
Al基Al2O3/Cu膜试件在真空环境热处理，热处理温度200-500℃，保温1-6h，随炉冷却；
热处理后Al基Al2O3/Cu膜试件进行刻蚀，得到指定阻值，宽度为20-100μm、边缘平整铜线条；
刻蚀后线条采用厚膜焊接技术焊接引线；
焊接引线试件与Al基Al2O3试件采用硅橡胶进行封装，形成Al-Al2O3-Cu-Al2O3-Al薄膜温度传感器。
2.根据权利要求1所述的液浮陀螺仪用薄膜温度传感器的制备方法，其特征是：所述刻蚀是在FeCl3溶液中进行刻蚀湿法刻蚀，或采用离子束或等离子干法刻蚀。
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