[发明专利]一种静电吸盘有效
| 申请号： | 201210063136.8 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102610476A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 陶铮;松尾裕史;欧阳亮;倪图强;尹志尧 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电吸盘，包含：一上表面，所述静电吸盘内部设有一电极，所述电极到所述静电吸盘上表面的距离不同，所述电极同时连接直流电源和射频功率源。本发明能够补偿静电吸盘边缘的蚀刻/沉积率，从而保证静电吸盘的有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 吸盘 | ||
【主权项】：
一种静电吸盘，所述静电吸盘包括一上表面，其特征在于，所述静电吸盘内部设有一电极，所述电极到所述静电吸盘上表面的距离不同，所述电极同时连接直流电源和射频功率源。
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