[发明专利]一种静电吸盘有效
| 申请号： | 201210063136.8 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102610476A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 陶铮;松尾裕史;欧阳亮;倪图强;尹志尧 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 静电 吸盘 | ||
1.一种静电吸盘，所述静电吸盘包括一上表面，其特征在于，所述静电吸盘内部设有一电极，所述电极到所述静电吸盘上表面的距离不同，所述电极同时连接直流电源和射频功率源。
2.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述电极分为若干个环形电极，所述的若干个环形电极呈阶梯状分布在静电吸盘中，所述若干个环形电极依次电气相连。
3.根据权利要求2所述的静电吸盘，其特征在于，所述的若干个环形电极同心设置。
4.根据权利要求2或3所述的静电吸盘，其特征在于，所述的若干个环形电极的直径互不相同。
5.根据权利要求4所述的静电吸盘，其特征在于，所述的若干个环形电极距静电吸盘上表面的距离随着环形电极（1）的直径的增大而减小。
6.根据权利要求4所述的静电吸盘，其特征在于，所述的若干个环形电极（1）距静电吸盘上表面的距离随着环形电极（1）的直径的增大而增大。
7.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述的静电吸盘内部电极呈锥形，所述锥形电极距静电吸盘上表面的距离随着锥形电极的直径的增大而减小。
8.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，所述的静电吸盘内部电极呈锥形，所述锥形电极距静电吸盘上表面的距离随着锥形电极的直径的增大而增大。
9.根据权利要求2所述的静电吸盘，其特征在于，所述的静电吸盘包含若干层介电层（2），所述的每个环形电极（1）分别设在各不同的介电层（2）中，所述的各层介电层（2）的介质材料互不相同。
10.根据权利要求9所述的设有阶梯电极的静电吸盘，其特征在于，所述的每层介电层（2）的高度不大于0.5mm。
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