[发明专利]外参考干涉硅片对准系统有效
| 申请号： | 201210058040.2 | 申请日： | 2012-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103309163A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李运锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种外参考干涉硅片对准系统，包括：提供对准照明光束的照明光源模块；对所述照明光束进行偏振分束的偏振分束器；参考标记成像模块和对准标记成像模块；偏振器和探测对准信号的探测器单元；参考标记成像模块和对准标记成像模块分别具有一1/4波片，照明光束经由偏振分束器分成分别具有不同偏振成分的第一光束和第二光束，第一光束通过对准标记成像模块后投射到对准标记上，形成第一衍射波面后再次由对准标记成像模块成像；第二光束通过参考标记成像模块后投射到参考标记上，形成第二衍射波面后再次由参考标记成像模块成像；两个衍射波面分别被成像后由偏振分束器合束，使得两个衍射波面所成的像重叠，两个重叠的像通过偏振器后互相干涉形成对准信号，探测器单元对所述对准信号进行探测。 | ||
| 搜索关键词： | 参考 干涉 硅片 对准 系统 | ||
【主权项】：
一种外参考干涉硅片对准系统，包括：提供对准照明光束的照明光源模块；对所述照明光束进行偏振分束的偏振分束器；参考标记成像模块和对准标记成像模块；偏振器和探测对准信号的探测器单元；其特征在于：参考标记成像模块和对准标记成像模块分别具有一1/4波片，照明光束经由偏振分束器分成分别具有不同偏振成分的第一光束和第二光束，第一光束通过对准标记成像模块后投射到对准标记上，形成第一衍射波面后再次由对准标记成像模块成像；第二光束通过参考标记成像模块后投射到参考标记上，形成第二衍射波面后再次由参考标记成像模块成像；两个衍射波面分别被成像后由偏振分束器合束，使得两个衍射波面所成的像重叠，两个重叠的像通过偏振器后互相干涉形成对准信号，探测器单元对所述对准信号进行探测。
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