[发明专利]一种基于陶瓷基板的超材料及其制备方法

摘要

本发明提供一种基于陶瓷基板的超材料及其制备方法，利用低温共烧陶瓷技术结合刻蚀技术制备出致密、一体的多层的基于陶瓷基板的超材料，所采用的陶瓷粉末为低温烧结陶瓷粉末，制成的陶瓷基板层与层之间不需要使用其他材料进行粘合，并且最后烧结出的多层陶瓷基板之间的结合与陶瓷内部的结合一样，不会影响陶瓷的介电常数，也不会影响金属微结构；该制造工艺简单、成本低，适于多层超材料的大规模应用。

主权项

一种基于陶瓷基板的超材料的制备方法，其特征在于：所述的制备方法包括以下步骤：a、制备生瓷带：将低温烧结陶瓷粉末研磨4‑24小时后，按重量组份比将研磨好的40‑60份低温烧结陶瓷粉末、50‑30份溶剂和50‑30粘结剂一混合均匀形成陶瓷浆料，采用流延法将陶瓷浆料制成生瓷带；b、将金属薄膜覆在涂覆有粘结剂二的生瓷带上，并烘干、保持干燥；c、在所述的覆有金属薄膜的生瓷带上蚀刻出定位标记；d、通过刻蚀技术在金属薄膜上刻蚀出微结构图形；e、重复步骤a、b、c、d，制备多片蚀刻有微结构的生瓷带；f、将步骤e中的多片生瓷带通过定位标记对准叠合后，然后热压、烧结，形成一体的多层基于陶瓷基板的超材料,所述的热压、烧结具体为：将多片生瓷带对准叠合后，先在100℃‑400℃下热压5‑10分钟，再在氩气、氮气或湿氢气的氛围下和温度为500℃‑645℃下烧结1‑4小时，获得致密、一体的多层基于陶瓷基板的超材料。