[发明专利]辐射检测器及其制造方法和包含辐射检测器的光刻设备

摘要

本发明公开了一种辐射检测器、一种制造辐射检测器的方法和一种包括辐射检测器的光刻设备。在一个实施例中，提供一种包括至少一个检测器的组件。所述至少一个检测器中的每个检测器包括：衬底，具有第一导电类型的掺杂区域；位于所述衬底上的第二导电类型的掺杂剂材料层；扩散层，所述扩散层形成在所述衬底内并且与掺杂剂材料层以及所述衬底的掺杂区域相接触，其中表示所述扩散层的掺杂材料浓度的掺杂性状从所述衬底的掺杂区域至所述掺杂剂材料层是增大的；与所述掺杂剂材料层相连的第一电极；以及与所述衬底相连的第二电极。所述扩散层被布置用以形成辐射敏感表面。

主权项

一种包括至少一个检测器的组件，所述至少一个检测器中的每个检测器包括：衬底，具有第一导电类型的掺杂区域；位于所述衬底上的第二导电类型的掺杂剂材料层；扩散层，所述扩散层形成在所述衬底内并且与掺杂剂材料层以及所述衬底的掺杂区域相接触，其中表示所述扩散层的掺杂材料浓度的掺杂性状从所述衬底的掺杂区域至所述掺杂剂材料层是增大的；与所述掺杂剂材料层相连的第一电极；以及与所述衬底相连的第二电极；其中所述扩散层被布置用以形成辐射敏感表面。