[发明专利]一种氧化锌基管状旋转靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201210041328.9 | 申请日： | 2012-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102603285A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 刘孝宁;刘秉宁;孙本双;杨小林;王廷东;马建保;韩建华 | 申请（专利权）人： | 西北稀有金属材料研究院 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化锌基管状旋转靶材的制备方法，其特点是，包括如下步骤：以NH4HCO3为沉淀剂，采用化学沉淀法制备纯氧化锌粉末和含1-7at％原子比的Al掺杂氧化锌粉末，粉末预烧结团化整形后装入模具中，以300-340MPa进行冷等静压成型，制得70-75％相对密度素坯；再将素坯于氧化气氛中烧结后，再经加工即得旋转靶材。与现有技术相比，本发明的制备方法具有以下有益效果：素坯密度提高10-15％，降低了后期烧结中体积收缩率，使大长径比管靶烧结变形得到有效控制；烧成制度中，以流通氧气作为控制气氛，避免了成分变化及表面巨大气孔及由此产生的致密度降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 管状 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锌基管状旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：以NH4HCO3为沉淀剂，采用化学沉淀法制备纯氧化锌粉末和含1‑7at％原子比的Al掺杂氧化锌粉末，粉末预烧结团化整形后装入模具中，以300‑340MPa进行冷等静压成型，制得70‑75％相对密度素坯；再将素坯于氧化气氛中烧结后，再经加工即得旋转靶材。
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