[发明专利]压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供抑制制造工时的增加、制造效率的下降、及振动特性的变动，并且能在压电板上均匀地形成覆膜图案的压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。其特征在于：利用形成装置(71)进行光刻胶膜形成工序，该形成装置(71)具有朝着圆片(S)上的金属膜(43)产生气流而将抗蚀剂材料喷雾的喷雾器(73)、和配置在工件托盘(72)及圆片(S)之间的多个间隔部(74)。

主权项

一种压电振动片的制造方法，其中包括：掩模形成工序，对形成在压电板上的覆膜涂敷掩模材料，从而在所述覆膜上形成掩模；掩模图案形成工序，对所述掩模进行构图而形成掩模图案；以及覆膜图案形成工序，除去所述掩模图案的形成区域以外的区域的所述覆膜，形成覆膜图案，其特征在于，利用掩模形成装置进行所述掩模形成工序，该掩模形成装置具有：喷雾器，向所述覆膜产生气流而喷雾所述掩模材料；以及通气单元，使所述气流向相对所述压电板而言与所述喷雾器相反的一侧流通。