[发明专利]压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

权利要求书

1.一种压电振动片的制造方法，其中包括：

掩模形成工序，对形成在压电板上的覆膜涂敷掩模材料，从而在所述覆膜上形成掩模；

掩模图案形成工序，对所述掩模进行构图而形成掩模图案；以及

覆膜图案形成工序，除去所述掩模图案的形成区域以外的区域的所述覆膜，形成覆膜图案，其特征在于，

利用掩模形成装置进行所述掩模形成工序，该掩模形成装置具有：

喷雾器，向所述覆膜产生气流而喷雾所述掩模材料；以及

通气单元，使所述气流向相对所述压电板而言与所述喷雾器相反的一侧流通。

2.根据权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，

在所述掩模形成工序中，以在相对所述压电板而言与所述喷雾器相反的一侧配置的工件托盘上设置所述压电板的状态，进行所述喷雾器的喷雾，

所述通气单元是配置在所述压电板与所述工件托盘之间的间隔部。

3.根据权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，

在所述掩模形成工序中，以在相对所述压电板而言与所述喷雾器相反的一侧配置的工件托盘上设置所述压电板的状态，进行所述喷雾器的喷雾，

所述通气单元是在所述工件托盘中以与所述压电板在厚度方向上不重叠的方式形成的通气孔。

4.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，

所述覆膜是形成在所述压电板的成为电极的具有导电性的金属膜，

所述掩模材料是形成所述电极时成为掩模的抗蚀剂材料。

5.一种压电振动片，其特征在于，利用权利要求1至权利要求3中任一项所述的压电振动片的制造方法来制造。

6.一种压电振动器，其特征在于，权利要求5所述的压电振动片被气密密封到封装件而成。

7.一种振荡器，其特征在于，权利要求6所述的压电振动器作为振子而与集成电路电连接。

8.一种电子设备，其特征在于，权利要求6所述的压电振动器与计时部电连接。

9.一种电波钟，其特征在于，权利要求6所述的压电振动器与滤波部电连接。