[发明专利]压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

背景技术

例如，在便携电话或便携信息终端中，往往使用利用水晶(石英)等作为时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等的压电振动器。作为这种压电振动器，有在形成有空腔的封装件内气密密封音叉型压电振动片的部件。

压电振动片包括：压电板，其具有沿长度方向延伸并在宽度方向上并列配置的一对振动臂部和连结两振动臂部的基端侧的基部；一对激振电极，形成在各振动臂部上；以及装配电极，形成在基部并与一对激振电极分别电连接。而且，构成为：通过从外部向各激振电极施加电压，使两振动臂部以基端侧为起点沿接近、分离的方向上以既定的谐振频率振动(摆动)。

作为在上述的压电板形成各电极(激振电极、装配电极等)的方法，众所周知如下方法。

首先，在形成压电板的圆片(wafer)，利用溅镀等来成膜金属膜。接着，在金属膜上涂敷抗蚀剂材料形成光刻胶膜。其后，利用光刻技术对光刻胶膜进行构图，形成用于形成各电极的掩模。最后，隔着掩模蚀刻金属膜，从而构图金属膜而形成各电极。

然而，在用喷涂(spray coating)法进行抗蚀剂材料的涂敷时，例如可考虑用喷雾器向圆片喷雾抗蚀剂材料。

但是，在用喷涂法涂敷抗蚀剂材料时，因抗蚀剂材料的表面张力而在压电板的角部无法充分涂敷抗蚀剂材料，出现光刻胶膜薄或者未形成光刻胶膜的区域。在该区域中，形成电极时的掩模变得不充分，有可能在形成蚀刻金属膜时压电板的角部的金属膜会被蚀刻。其结果，存在角部中电极断线、CI(晶体阻抗：crystal Impedance)值劣化的问题。

于是，例如在专利文献1中，记载了通过在压电板的边缘部形成台阶部，来易于对边缘部的金属膜上涂敷抗蚀剂材料的构成。

专利文献1：日本特开2007-295555号公报

但是，上述的专利文献1的构成，存在这样的问题：由于需要在形成压电板的外形之后，其它工序中形成台阶部，所以导致制造工时增加、制造效率下降。

此外，存在的问题是现有的压电振动片外形改变，从而振动特性变动。

发明内容

于是，本发明鉴于上述问题而构思，提供不仅抑制制造工时的增加、制造效率的下降、及振动特性的变动，而且能均匀地在压电板上形成覆膜图案的压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

为了解决上述课题，本发明提供以下方案。

本发明的压电振动片的制造方法，其中包括：掩模形成工序，对形成在压电板上的覆膜涂敷掩模材料，从而在所述覆膜上形成掩模；掩模图案形成工序，对所述掩模进行构图而形成掩模图案；以及覆膜图案形成工序，除去所述掩模图案的形成区域以外的区域的所述覆膜，形成覆膜图案，其特征在于，利用掩模形成装置进行所述掩模形成工序，该掩模形成装置具有：喷雾器，向所述覆膜产生气流而喷雾所述掩模材料；以及通气单元，使所述气流向相对所述压电板而言与所述喷雾器相反的一侧流通。

依据该构成，使喷雾器产生的气流向相对压电板而言与喷雾器相反的一侧流通，从而能够提高压电板的厚度方向上的通气性。即，喷雾器产生的气流通过压电板，由此涂敷在覆膜上的掩模材料容易干。在这种情况下，掩模材料会沉积到干燥后的掩模材料上，因此能够减少压电板的角部上的掩模材料的表面张力，变得容易将掩模材料涂敷到压电板的角部。因此，在压电板的整个面上，能够均匀地形成掩模。

由此，能够在覆膜图案的形成区域均匀地形成掩模图案，因此在覆膜图案形成工序中，覆膜图案的形成区域不会被除去。其结果，能在压电板上均匀地形成覆膜图案。

这时，利用通气单元，使气流仅向相对压电板而言与喷雾器相反的一侧流通，因此能够抑制制造工时的增加、制造效率的下降。

此外，也不会变更压电板的外形，因此振动特性也不会变动。

此外，本发明的特征在于：在所述掩模形成工序中，以在相对所述压电板而言与所述喷雾器相反的一侧配置的工件托盘上设置(set)所述压电板的状态，进行所述喷雾器的喷雾，所述通气单元是配置在所述压电板与所述工件托盘(stage)之间的间隔部(spacer)。

依据该构成，在通过压电板的气流到达工件托盘之后，通过间隔部而在压电板与工件托盘之间所形成的间隙流通。由此，能可靠地提高压电板的厚度方向上的通气性。