[发明专利]在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法

摘要

本发明涉及在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法，选择玻璃作为基底，通过化学溶液沉积法制备钙钛矿结构BiFeO3铁电薄膜，然后通过物理溅射法在薄膜上制备0.5mm*0.5mm顶部电极即可。与现有技术相比，本发明能够以低的成本在玻璃基板上制备出一致性高，重复性好的具有钙钛矿结构的BiFeO3铁电光伏薄膜。所制备的薄膜具有优越的光伏特性并具有二极管的单向导电特性，这些优越的特性可使BiFeO3铁电薄膜在光伏电池及光电子器件领域中获得应用。

主权项

在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)BFO前驱体溶液的配制将Bi(NO3)3·5H2O和Fe(NO3)3·9H2O按摩尔比1∶1的比例完全溶于乙二醇甲醚，获得棕红色澄清透明且稳定前驱体溶液；(2)BFO铁电薄膜的制备以玻璃基板为基底，通过化学溶液沉积法制备得到BFO铁电薄膜；(3)上电极的制备在带有0.5mm*0.5mm方孔的掩膜板的遮挡下物理溅射方法在BFO铁电薄膜上沉积0.5mm*0.5mm的电极即可。