[发明专利]在玻璃基板上制备BiFeO3铁电薄膜光伏电池的方法

权利要求书

1.在玻璃基板上制备BiFeO₃铁电薄膜光伏电池的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(1)BFO前驱体溶液的配制

将Bi(NO₃)₃·5H₂O和Fe(NO₃)₃·9H₂O按摩尔比1∶1的比例完全溶于乙二醇甲醚，获得棕红色澄清透明且稳定前驱体溶液；

(2)BFO铁电薄膜的制备

以玻璃基板为基底，通过化学溶液沉积法制备得到BFO铁电薄膜；

(3)上电极的制备

在带有0.5mm*0.5mm方孔的掩膜板的遮挡下物理溅射方法在BFO铁电薄膜上沉积0.5mm*0.5mm的电极即可。

2.根据权利要求1所述的在玻璃基板上制备BiFeO₃铁电薄膜光伏电池的方法，其特征在于，步骤(1)中所述的玻璃基板为FTO导电玻璃基板、ITO导电玻璃基板或普通玻璃。

3.根据权利要求1所述的在玻璃基板上制备BiFeO₃铁电薄膜光伏电池的方法，其特征在于，所述的化学溶液沉积法包括以下步骤：

(1)利用甩胶机将前驱体溶液甩胶到基板上，控制转速为500rpm甩胶10秒然后在3000～4000rpm转速下甩胶30秒；

(2)甩胶结束后将带有前驱体湿膜的基板在热板上先200℃烘干3分钟，然后在350℃煅烧5分钟，最后在O₂气氛下通过快速退火炉在500～600℃烧结5分钟；

(3)甩胶煅烧第一层后先退火一次，以后每两层退火一次，一共甩胶15层，得到BFO铁电薄膜。

4.根据权利要求1所述的在玻璃基板上制备BiFeO₃铁电薄膜光伏电池的方法，其特征在于，步骤(3)中所述的电极为Au电极、Pt电极或ITO电极。