[发明专利]最小化门挠曲的前开式晶圆容器

摘要

一种使用适用于450毫米直径的晶圆的前开式晶圆容器。前门具有一对闩锁机构，从外部可操作且位于门的侧面，各闩锁机构具有一对闩锁尖端，闩锁尖端从门的顶部及底部周边延伸至位于容器部的正面开口的门框架中的接收器中。门包含用于支撑水平堆积的晶圆的晶圆衬垫。衬垫具有垂直延伸的支撑条部，在垂直延伸的支撑条部之间具有弓形晶圆啮合部。弓形晶圆啮合部位于门的内表面上的垂直延伸的中心凹槽中。晶圆衬垫在一对垂直延伸的加载接合部处垂直延伸的支撑条部处紧固至门的内侧。各闩锁机构的闩锁尖端与垂直延伸的加载接合部垂直对齐。

主权项

一种前开式晶圆容器，包含：一容器部，其具有一内部和一门框架，所述内部具有相对的多列搁架，该搁架的尺寸适于容纳450毫米的晶圆，该450毫米的晶圆位于所述容器的相对侧的内部中，所述门框架限定一正面开口；以及一门，可操作地封闭所述容器部的正面开口，所述门包含： 一对闩锁机构，可从外部操作且位于所述门的侧面，各闩锁机构具有一对闩锁尖端，这对闩锁尖端可从所述门的顶部周边和底部周边延伸至位于所述门中的接收器中；一晶圆衬垫，用于支撑以相间堆积排列方式设置的水平晶圆的前缘，具有一对垂直延伸的支撑条部，一弓形晶圆啮合部水平地延伸至该对垂直延伸的支撑条部之间，所述弓形晶圆啮合部位于所述门的内表面上的一垂直延伸的中心凹槽中，并与所述前门的内表面隔开，所述晶圆衬垫在一对垂直延伸的加载接合部处的这对垂直延伸的支撑条部处紧固至所述门的内侧，在这对垂直延伸的加载接合部处，因晶圆被压缩保持于所述晶圆衬垫与所述容器部后部的晶圆支撑件之间而形成的载荷从所述晶圆衬垫传递至所述前门，多个机械存取键开口，用于所述闩锁结构，水平且向外地与所述垂直延伸的加载接合部隔开，各闩锁机构的所述闩锁尖端相对于所述机械存取键开口水平地偏置，且所述闩锁尖端与所述垂直延伸的加载接合部沿一垂直线对齐。