[发明专利]堇青石质陶瓷及使用其的半导体制造装置用部件无效
| 申请号： | 201180050843.7 | 申请日： | 2011-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN103180262A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 饭田修一;福饭明雄;须惠敏幸 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/195 | 分类号： | C04B35/195;H01L21/683 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供热膨胀系数小、机械强度优异的堇青石质陶瓷及使用其的半导体制造装置用部件。所述堇青石质陶瓷中，相对于具有以氧化物换算量计含有Mg12.6质量％以上且14.0质量％以下、以氧化物换算量计含有Al33.4质量％以上且34.4质量％以下、及以氧化物换算量计含有Si52.0质量％以上且53.6质量％以下的组成范围的主成分100质量％，含有换算成氧化物时为4.5质量％以上且15.0质量％以下的Y、Yb、Er及Ce中的任一种作为副成分，并且堇青石、二硅酸盐及尖晶石作为晶相存在。该堇青石质陶瓷的热膨胀系数在±120ppb/℃的范围内，四点弯曲强度为170MPa以上，具有低热膨胀性及优异的机械强度。 | ||
| 搜索关键词： | 青石 陶瓷 使用 半导体 制造 装置 部件 | ||
【主权项】：
一种堇青石质陶瓷，其特征在于，相对于具有以氧化物换算量计含有Mg12.6质量％以上且14.0质量％以下、以氧化物换算量计含有Al33.4质量％以上且34.4质量％以下、及以氧化物换算量计含有Si52.0质量％以上且53.6质量％以下的组成范围的主成分100质量％，含有换算成氧化物时为4.5质量％以上且15.0质量％以下的Y、Yb、Er及Ce中的任一种作为副成分，并且堇青石、二硅酸盐及尖晶石作为晶相存在。
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