[发明专利]适于生产硅的机械流化的反应器系统和方法

摘要

一种机械流化系统和方法，允许高效、低成本地生产硅。将颗粒提供至加热的托盘或盘，所述盘或托盘振荡或振动以提供反应表面。所述颗粒在托盘或盘中向下迁移并且托盘或盘中的反应产品在其达到期望的状态时向上迁移。废气可以循环利用。

主权项

一种化学气相沉积反应器系统，包括：机械装置，用于基本上将多个粉尘、球珠或其他颗粒的表面暴露于包括第一气体化学物料的气体；用于加热的装置，用于将所述粉尘、球珠或其他颗粒或者所述粉尘、球珠或其他颗粒的表面加热至足够高的温度，从而使与所述表面接触的第一气体化学物料将化学分解并且基本上在所述表面上沉积第二化学物料；以及第一气体源，其从在加热时分解成一个或多个第二化学物料的化学物料中选择，所述第二化学物料之一是基本上非挥发性物料并且易于近距离地沉积在热表面上。